Bp 85 cz
Modelování a řízení lokální krystalizace tenkýc vrstev křemíku pomocí hrotové sondy AFM
Autor: Pavel Krejza
Předmětem této práce je řízená lokální nanokrystalizace amorfního křemíku. je zde stručně popsána funkce mikroskopu atomárních sil, fyzikální problematika kristalizace na ténkých vrstvách , též je zde uvedeno několik příkladů budoucího využití křemíkových nanokrystalů. Následuje popis zapojení AMF se vzorkem při experimentu, využití možnosti přikládat napětí na hrot a měřit velmi malé proudy pomocí speciálního modulu.
Expediment je identifikován jako dynamický systém, jenž je potřeba řídit. K tomuto účelu je vyvíjen počítačový program. Pro účely softwarového řízení je použita diskrétní PID regulace. Hlubší zkoumání problematiky nakonec ukazuje na nutnost jiné formy řízení, jež je také popsána v práci. Na závěr je práce doplněna snímky z AFM.
- Pavel Krejza , mailto:pol.maestro@seznam.cz
